大オフセット非球面反射鏡の加工方法を改良し、外部要因による反射鏡面形状誤差を低減し、効率を向上させるために、本論文はスローカットサーボ技術に基づき、大オフセットで且つ旋盤の加工口径制限を受けない工具経路計画方法を提案する。オフセット反射鏡の座標平行移動方式により、鏡面外縁と旋盤主軸中心間の距離を旋盤の加工半径内に制御し、工具のオフセット量および加工領域を縮小する。座標平行移動後の反射鏡は主軸中心を原点とし、複数の同一反射鏡が円周上に均等に分布し、切削域と遷移域が共存するオフセットアレイ様式を形成する。スプラインと正弦混合補間方程式を構築し、工具の縁切削点におけるZ方向の切削速度および切削加速度が連続かつ突変なしであることを前提に遷移域の工具経路を補正する。最後に実験解析により、加工全域にわたり遷移域と切削域の工具経路が滑らかかつ連続し、Z軸およびC軸が安定動作し、加工精度がPV0.4波長@632.8 nmに達することを証明した。座標平行移動によって工具のオフセット量を効果的に低減でき、補正された工具経路は旋盤の安定した動作を保証し、大オフセット非球面反射鏡の加工を満たし、一度の加工で複数の反射鏡を完成させ、高い加工精度と効率を実現する。

非球面反射鏡;大オフセット;スローカットサーボ;工具経路計画