加工誤差の影響下における微小電熱駆動装置の故障解析

CHEN Hao ,  

CAO Yun ,  

WANG Xin-jie ,  

WANG Jiong ,  

XI Zhan-wen ,  

NIE Wei-rong ,  

摘要

V型電熱駆動装置の温度故障確率を研究するために、駆動装置に存在する加工誤差に基づき、駆動装置の対称中心部の温度(装置全体の最高温度)に対する不確かさの解析を行った。まず、同一加工バッチの駆動装置について測定計算を行い、駆動装置の幅と抵抗率が正規分布に従うパラメータをフィッティングした。V型電熱駆動装置の有限要素モデルを構築し、実験的に検証することで、不確かさ解析に用いるサンプルデータの信頼性を確保した。幅と抵抗率の分布特性に基づき、非侵襲型混沌多項式展開法により、エルミート直交多項式を用いて展開を行い、ガウス数値積分法で多項式の係数を求めた。最後にモンテカルロ法を用いて構築した温度混沌多項式モデルの検証を行った。研究結果は、混沌多項式モデルが駆動装置上の最高温度の確率分布を正確に得られることを示した。最高温度の主な分布範囲と平均値は電圧の増加に伴い増大し、V型電熱駆動装置の温度故障確率も電圧の増加に伴い増加する。18 Vの電圧作用下において、この加工バッチの駆動装置の温度故障確率は91.5%に達する。

关键词

電熱駆動装置;加工誤差;不確かさ;混沌多項式;故障確率

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