振り子部品は微小懸架式振り子型加速度計の核心部分であり、その組立精度は加速度計の測定精度に直接影響します。これに対し、振り子部品の自動組立装置が開発されました。上下固定式および着脱式の治具が設計されており、振り子部品は着脱可能な治具を介して対応する固定治具に取り付けられます。ステッピング直線モーターによって駆動される糸通しクランプがガラス管に対して振り子の糸を通し、微小力センサーにより張力を制御します。真空吸着装置は3次元移動プラットフォームに統合されて上部組立調整モジュールを構成し、上部治具の把持、搬送、位置決めを実現します。ロック装置は電動回転台に統合されて下部組立調整モジュールを構成し、下部治具の固定および姿勢調整を行います。上下治具の整列および結合により最終的な組立が実現されます。組立過程では反射プリズムを用い、単一カメラにより立体視計測機能を実現します。実験データによると、組立位置精度は15µm未満、平行度は15µm未満であり、自動組立装置の安定性、信頼性、高い組立精度の要件を満たしています。

振り子部品; 微小懸架式振り子型加速度計; 組立装置; ガラス管