摘要
石英ガラスは研磨工程において不可避的にサブサーフェスダメージが発生し、石英ガラスのサブサーフェスダメージの検出は加工プロセス最適化における重要な課題となっている。本論文では偏光レーザー散乱法とレーザー散乱共焦点法を組み合わせ、偏光レーザー共焦点に基づく研磨石英ガラスのサブサーフェスダメージの非破壊検出法を提案する。非破壊検出システムを構築し、異なるダイヤモンド研磨液を用いた石英ガラスのサブサーフェスダメージを検出し、同一バッチの石英ガラスに対して断面顕微鏡による破壊検査で結果を検証した。非破壊検出と破壊検出の結果を比較すると、サブサーフェスダメージの深さの相対誤差は5％以内であり、サブサーフェスクラックの構成はほぼ一致した。結果は、偏光レーザー共焦点非破壊検出法が研磨石英ガラスのサブサーフェスダメージの定量的かつ非破壊的検出を実現でき、後続の石英ガラス加工プロセス最適化に有効な検出手段となることを示している。
关键词
共焦点イメージング;サブサーフェスダメージ;偏光レーザー散乱;断面顕微鏡法;石英ガラス
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