摘要
X線集光ミラーは宇宙に存在するX線放射を収集・集束するために用いられ、X線天文衛星の観測搭載機器の中核部品です。本稿では、ニッケル基板電鋳複製法を採用し、化学ニッケルリン合金めっき、金型の超精密加工、金型めっき、電鋳ニッケル母材および脱型にわたる全工程にわたり多数のプロセス探索と装置開発を行い、最終的にX線集光ミラーの大量超精密製造を完了しました。実験結果は、集光ミラーモールドの加工精度 - 表面粗さ0.5 nm RMS未満、形状精度0.5 μm以上、鏡片角分解能33.5″HPD（エネルギーハーフパワー幅）であり、本工法の信頼性と先進性を実証しました。
关键词
X線光学;ウォルター集光望遠鏡;グレージング入射;電鋳複製;超精密加工
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