カーボンナノチューブのピックアップは、大規模製造および電子ナノデバイスの修復に重要な意義を持つ。本研究では、走査型電子顕微鏡内にマイクロナノ操作システムを構築し、高倍率および低倍率下でタングステン針と原子間力顕微鏡探針をカーボンナノチューブと協調操作して切断およびピックアップ回路を構築し、通電切断法を用いてカーボンナノチューブの迅速なピックアップを実現した。タングステン針とカーボンナノチューブの接触状態を維持したまま、カーボンナノチューブと原子間力顕微鏡探針との点接触および線接触回路モデルを構築し、接触の姿勢が電気的特性に与える影響を分析し、線接触回路モデルの場合にカーボンナノチューブと探針の接触長を変化させ、接触長が接触抵抗に与える影響を調査した。実験結果により、本研究で提案した操作戦略はカーボンナノチューブのピックアップ成功率を効果的に向上させ、操作時間を約8分に制御できることが示された。0～1 Vの低電圧かつカーボンナノチューブと金表面が線接触状態にある場合、カーボンナノチューブはタングステン針および金表面とオーム接触し、発生する接触抵抗は金属の接触長さに反比例するが、点接触状態の場合は非オーム接触であり、接触状態がカーボンナノチューブと金属間の電気特性に影響を与えることを示している。本研究のカーボンナノチューブのピックアップ戦略および電気特性測定結果は、カーボンナノチューブのピックアップ、性能測定および組立作業に一定の指導的意義を持つ。

マイクロナノ操作;カーボンナノチューブ;通電切断;電気的特性