掃引周波数中に、振動アイソレータが0Hzと固有周波数の間の周波数帯においてプラットフォーム基座の慣性力の干渉を十分に遮断できない問題を解決するために、二段駆動型能動振動アイソレーションシステムの可変反共振周波数コントローラを提案した。二段駆動能動振動アイソレーションシステムの運動学モデル、可変反共振周波数コントローラおよびパラメータ設計について研究を行った。まず、設計された二段駆動能動振動アイソレーションシステムの運動学モデルを構築した。次に、システムの反共振周波数特性に基づいて、可変反共振周波数コントローラとそのパラメータ設計を提案した。そして、可変反共振周波数制御による振動アイソレーション性能を解析した。最後に、実験プラットフォームを構築し実験的に検証した。実験結果は、0から初期反共振周波数までの閉ループ伝達率が-15 dB未満であることを示した。さらに、コントローラのパラメータを変更することで、0 Hzと初期反共振周波数の間で追加の反共振周波数を調整できることが確認された。追加の反共振周波数付近では閉ループ伝達率が-30 dB未満であった。このコントローラを用いることで、有効荷重の撹乱振幅は4 mm·s^-1から0.5 mm·s^-1へ減衰し、プラットフォーム基座の衝撃撹乱は87.5%低減した。二段駆動能動振動アイソレーションシステムは、可変反共振周波数コントローラと組み合わせて、掃引干渉をリアルタイムで追従し反共振周波数点を調整でき、半導体製造業の超低振動要求の掃引環境に適用可能であり、良好な振動アイソレーション効果を得られる。

二段駆動;能動振動アイソレーション;可変反共振周波数コントローラ