走査格子マイクロミラーは、次世代のマイクロ分光器のコアスペクトル素子です。固定格子分光方式のマイクロ分光器は、近赤外域でアレイ検出器を使用しているため価格が高く、近赤外分光分析技術の普及を著しく制約しています。本論文では、微細ナノ加工技術を用いた電磁式走査格子マイクロミラーを提案し、格子、駆動構造、角度センサーを一体化した装置であり、アレイ検出器の代わりに単一管検出器を実現します。電磁式走査格子マイクロミラーの理論モデルを構築し、梁寸法、鏡面寸法などの主要構造パラメータがデバイス性能指標に与える影響を分析し、設計パラメータを獲得しました。微細ナノ加工法でチップを製作し、性能指標を評価しました。実験および理論結果により、デバイスの走査角度が±7°のとき、スペクトルは800～2500 nmに達し、スティグマ波長付近の回折効率は≥70%、角度センサーの制御精度は≤0.05°であり、マイクロ近赤外分光器への応用に有効なソリューションを提供します。

マイクロナノデバイス;走査格子マイクロミラー;電磁式;角度センサー;近赤外