はめあい微装配における弱い微小部品の損傷が起こりやすい問題に対して、レーザー慣性閉じ込め核融合（Inertial Confinement Fusion，ICF）の研究中の微小ターゲットの重要部品である冷凍カバー（Thermomechanical Package，TMP）コンポーネントの組立を対象に、弱い微小部品のはめあい組立方法の研究を行った。まず、組立空間が狭く視覚的な遮蔽があることにより、組立過程でのシリコンアームの変形検出が困難な問題に対し、グレースケール変化に基づく変形検出方法を提案し、小さな爪のグレースケール−変形モデルを構築した。次に、顕微鏡視覚検査の精度の影響を受け、シリコンアームとスリーブの微小姿勢偏差が検出しにくい問題に対し、シリコンアームの荷重変形状況の解析に基づき、シリコンアームとスリーブの姿勢偏差を定性的に判断する方法を提案し、両者の微小な姿勢偏差の検出を実現した。最後に、部品のグレースケール変化および幾何学的解析に基づき、微装配過程における姿勢偏差の定量計算法を提案し、はめあい組立制御戦略を設計した。実験結果は提案手法の有効性を証明し、TMPコンポーネントの20〜26μmのはめあい無損傷組立を実現した。この方法はマイクロエレクトロメカニカルシステム製造における微細軸穴のはめあいに適用可能である。

弱い微小部品; 変形制御; はめあい組立; 微装配