環境湿度の変化がマイクロピペットプローブの構造読み書きの安定性に及ぼす悪影響を克服するために、本稿ではまず混合室と作業室からなる二重チャンバー構造を設計し、作業室内の仕切り板に均等に分布した小さい穴から均一な微気流を形成し、作業室内の湿度を均一に保ち作業点の気流乱れの影響を低減した。次に、数値シミュレーションにより混合室と作業室の二重チャンバー構造の合理性を検証し、作業室の両側から0.06 m·s^-1以下の流速で二重側面通気を行った際、作業点の気流乱れが50 μm·s^-1以下であることを確認した。実物を作成し実験を行った結果、本システムは5分以内に作業室の湿度を所定値（環境温度25 ℃）に制御でき、相対湿度の定常状態誤差は2.59%であった。環境湿度を制御し、異なる湿度条件下でのマイクロピペットプローブの電気析出（書き込み）構造の品質と走査（読み取り）画像品質を比較した結果、本環境湿度制御法がマイクロナノ読み書きに対する動作要求を満たすことが分かった。本手法は、マイクロピペットプローブに基づく微細構造の製造および検査の安定性と信頼性を向上させる上で重要な現実的意義を持つ。

マイクロピペットプローブの製造および検査; 微小環境湿度制御; 数値シミュレーション最適化