マイクロ電気機械システム（MEMS）に基づく非固有光ファイバー珐琅超音波センサーは、電磁干渉に強く、信号伝送距離が長く、体積が小さく軽量であるなどの特長を持ち、電力設備中の部分放電によって放出される超音波信号の検出および位置特定に優れた能力を有しています。このタイプのセンサーの感度構造は通常円形の連続膜であり、その加工方法は比較的簡単ですが、膜の内外の温度差や圧力不均衡により、センサー性能指標のずれを引き起こすことがあります。この影響を低減または除去することは、光ファイバー珐琅超音波センサーの産業応用を促進するための基本的前提条件です。多孔質感度膜に基づく光ファイバー珐琅超音波センサーが提案されており、感度膜はMEMS工法で製造され、その厚さはわずか5μmで、加工方法は簡単でコストも低廉です。さらに、3Dプリント技術と防水透音膜を組み合わせて感度膜の保護パッケージングを完成させました。実験結果は、このセンサーが液体中で優れた超音波応答を示し、静圧感度は最大1.25 V/Paに達し、距離減衰、方向応答および静圧性能は空気中と同じ法則を保ち、通気孔によって感度膜内外の気圧不均衡を防止できることを示しています。したがって、このセンサーは液体中の部分放電検出分野において良好な応用可能性を示しています。

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