円形グレーティングの取り付け傾斜やグレーティング変形などによって生じる精密減速機検査装置の角度測定システムの精度低下に対し、従来の誤差補正方法は多面体作動面の制約によりサンプリング点数が限られ、補正効果が不十分である問題に対して、多データ関連誤差補正法を提案した。自己准直器と正24面体を組み合わせて円形グレーティングの角度誤差を較正し、多面体と円形グレーティングの周向位置関係を変えることで複数の角度誤差較正データを取得した。誤差ハーモニック法を用いて複数の測定データを前処理し、異なるデータ群を関連付けてBPニューラルネットワークに入力して学習させることで、円形グレーティングの角度誤差モデルを得た。本手法は補償式の計算を不要とし、誤差ハーモニック法におけるサンプル点過多によるフィッティング振動問題を克服できる。実験結果は、本論文で提案した補償法の残差ピークツーピーク値が0.94″以内、標準偏差は0.25″で、誤差ハーモニック法修正後のそれぞれ33.3％および37.9％に減少し、円形グレーティング角度測定システムの精度を有効に向上させ、減速機検査装置の角度測定精度を亜角秒レベルに達せしめたことを示している。

精密減速機検査装置;円形グレーティング;自己准直器;誤差ハーモニック法;BPニューラルネットワーク;多データ関連