航空光電子プラットフォームにおける可視/赤外二波長双軸高速反射鏡の面形精度および動的性能に対する高い要求を満たすために、軽量化された平面反射鏡と柔軟な構造をターゲットに設計した。高速反射鏡構造の設計方法を整理し、設計要素を明確にし、組み立て誤差の影響を分析した。背面中央支持の軽量反射鏡を設計し、定位治具によってモーターの高精度な組み立てを実現した。十字型柔軟ベアリングに基づき、双軸柔軟構造の設計を実現した。最後に、高速反射鏡の面形精度とモードについてシミュレーションおよび実験的テストを行った。実験結果は、平面反射鏡の面形精度（RMS）が0.017λ（λ=632.8 nm）より優れており、高速反射鏡の閉ループ帯域幅が200 Hzより優れていること、X方向およびY方向の位置決め誤差がそれぞれ1.2 μrad以下であることを示した。高い面形精度と高い動的性能を満たした上で、この高速反射鏡は小型化とモジュール化を実現し、複雑な航空環境下で安定かつ信頼性の高い動作が可能である。

高速反射鏡;双軸柔軟支持;面形精度;モード解析