幾何相位の超表面レンズは、従来の屈折レンズとは異なり、位相波面の変調は伝播過程での累積位相に依存せず、空間的に変化する単位構造によって局所偏光状態を変化させ、随伴する付加位相を導入して光束を集束させます。幾何相位超レンズの変数パラメータ構造の干渉製造を実現するために、空間変数パラメータ位相素子を変調するフーリエ変換光学系が提案されました。4<f>f</f>光路のフーリエ変換原理および位相素子回折光線の幾何学的伝播特性を利用して、位相素子の空間周波数、配向および分布領域がシステムの像面光場特性に与える影響を解析し、空間変数パラメータ位相素子による入射光の分割変調と同時に複数の干渉光場を生成することで、配向変化および周期変化するマイクロ構造の製造方法を明らかにしました。これに基づき、設計・製作した変数パラメータ位相素子を用いて、円形および環状分布の変数パラメータ干渉光場を生成し、半径1892μmで配向および周期が変化するマイクログレーティング構造を製作しました。格子の配向は0°、125°、235°、周期はそれぞれ7.22、6.51、5.78μmです。本システム光路は簡単で、投影露光との統合が容易であり、空間変数パラメータ構造単位に基づく幾何相位超レンズの製造に新しい道を提供します。

干渉リソグラフィ;4<f>f</f>光学系;空間変数パラメータ;位相変調