摘要
光学干渉測定技術は高い感度と高い再現性により、変位などの幾何量の高精度測定に広く用いられています。ナノレベルの変位精密測定を実現するために、渦巻き光と平面波の干渉モデルに基づき、花弁状干渉図の回転角度と変位の線形関係を構築・検証し、微小変位測定法を提案しました。変位測定モデルは渦巻き光束の干渉光路を使用し、シミュレーションにより原理の実現可能性を検証し、変位実験システムを構築して測定実験を行いました。実験結果は、変位量が200.0 nmのとき、測定結果は196.3 nmであり、誤差は3.7 nm、誤差率は1.9％で、ナノレベルの微小変位測定が可能であることを示しています。従来の球面波干渉、共役渦巻き光干渉などの変位測定方式と比較して、本微小変位測定法は測定信頼性および測定精度において明らかな利点があります。
关键词
干渉測定;渦巻き光;微小変位;平面波
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