空間光変調器を用いたマスクレス露光は、露光技術における重要な発展方向の一つである。近年、デジタルマイクロミラー装置のチップ集積度と性能の向上に伴い、デジタルマイクロミラー装置を用いたマスクレス露光は主要なデジタル露光技術の一つとなっている。グレースケール調整可能な光反射型の「デジタルマスク」が従来の光リソグラフィで使用される既製の物理的なフォトマスクを置き換えることで、本技術はリソグラフィのマスク製造プロセスを大幅に簡素化し、リソグラフィの柔軟性を向上させ、平面マイクロナノデバイス、メタマテリアル、マイクロ流体デバイス、組織生物学研究などの分野で広く応用されている。デジタルマスクレス露光の原理から出発し、典型的な均一照明システム構造と縮小投影システム構造について簡単に紹介し、さらに平面露光向けの空間分解能向上技術、階調露光技術および三次元マイクロステレオリソグラフィ技術の進展を紹介する。最後に、いくつかの典型的なデジタルマスクレス露光の応用例を挙げ、その発展方向を展望する。

マスクレス露光;空間光変調器;デジタルマイクロミラー装置;分解能向上;階調露光;マイクロ立体露光