摘要
大面積ナノインプリント技術は、テンプレートを用いたプレス方法により大面積の微細なナノ構造を大規模に作製するグラフィック技術であり、良好な再現性、低コスト、高い構造解像度などの利点を持つ。各種ポリマーおよび媒体の迅速な構造形成により、大面積ナノインプリント技術は微細光学・光電デバイスの製造に独自の優位性を持ち、発光ダイオード、ディスプレイ、拡張現実光導波路、マイクロ流体チップなど多くの分野に応用され、ナノテクノロジーの商業化において重要な役割を果たす。まずナノインプリント技術の紹介を行い、その後大面積ナノインプリント技術、大面積インプリントテンプレートの製造、大面積ナノインプリント技術のデバイス応用およびその展望と課題の四つの側面から大面積ナノインプリント技術を紹介する。
关键词
ナノインプリント;大面積インプリントテンプレート;大面積グラフィック化;デバイス応用
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