摘要
従来の絶対式変位センサーの複雑な符号化および厳格なフォトリソグラフィー加工の課題に対して、「精密機械位置決め＋精密機械測定」の差極構造絶対式時間格子変位測定の新しい方法を提案した。センサーは対極数差が1の励磁コイル2列で構成され、各励磁コイルは空間的に正交配置された正弦/余弦コイルからなる。直交励磁電流を印加し、動尺の正弦形誘導コイルで時間変動磁場を検出し、2つの進行波信号を得る。信号のデカップリングにより、精密機械位置決めと精密機械測定の組み合わせによる絶対変位測定を実現した。取り付け高さおよび取り付け誤差が測定精度に与える影響を重点的に解析した。実験結果は、取り付け角度の偏差が極内直流レベルおよび2次高調波誤差を著しく増加させることを示し、補正後、センサーは90 mmの範囲で±1.2 µmの測定精度、分解能0.1 µmを示した。
关键词
絶対式変位測定;時間格子センサー;差極構造;測定誤差解析
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