光学、精密加工および精密な位置決めなどの分野におけるマイクロ/ナノ技術の応用を研究するために、線形偏び複合型圧電マイクロ動作プラットフォームが提案され、線形運動および偏び運動を実現した。プラットフォームの構成と動作原理を説明し、二種類の運動の数学モデルを確立し、運動性能をシミュレーションした。設定された寸法に基づき試作機を加工し、試作機の運動能力と周波数応答特性をテストした。最後に比例積分微分（PID）フィードバックによりプラットフォームの追従制御を実現した。シミュレーションおよび実験結果は、本プラットフォームが優れた運動精度とデカップリング特性を有し、一階固有振動数は333.8 Hzに達し、24.924 μmの線形運動および1.330 mradの角度振動を実現し、マイクロ/ナノレベルの運動を達成しており、精密光学や精密位置決め分野において広い応用展望を持つことを示している。

マイクロプラットフォーム;線形運動;偏び運動;柔軟機構;数学モデル