MEMS膜片と超小型GRIN光ファイバレンズを組み合わせたMEMS光ファイバ音響センサおよびスウィープドソース光コヒーレンストモグラフィー（Swept Source Optical Coherence Tomography、SS-OCT）復調システムに基づくMEMS光ファイバ音響センサの性能試験方法の研究。モデリング解析に基づき、MEMS膜片と超小型GRIN光ファイバレンズを組み合わせたMEMS光ファイバ音響センサの製作プロセスを設計・研究し、SS-OCTに基づく音振動測定システムを構築した。単一周波数音響信号、混合周波数音響信号、周波数応答、音圧感度およびシステムの安定性測定実験を実施し、センサの性能試験と較正を行った。結果は、研究対象のMEMS光ファイバ音響センササンプルの周波数応答範囲が50 Hz～4.5 kHzであり、300 Hzにおけるセンサ音圧感度は21.63 nm/Pa、信号対雑音比（SNR）は44.1 dB、直線性は98.97%、再現性標準偏差は0.003であることを示した。結果は、研究対象のMEMS光ファイバ音響センサが実現可能であり、SS-OCT復調システムを用いてその伝感性能を有効に測定できることを示している。

超小型GRIN光ファイバレンズ;MEMS;光ファイバ音響センサ;SS-OCT