摘要
MEMSマイクロ圧力センサの感度を向上させるために、シリコン圧力抵抗式圧力センサの動作原理に基づいて圧力センサの感度に影響を与える主な要素を紹介した。COMSOL Multiphysics有限要素解析ソフトウェアを使用して、圧力感知膜の厚さ、圧力抵抗設置位置、圧力抵抗の長さが感度に与える影響を研究した。シミュレーション結果に基づき、圧力感知膜の厚さを15μmに減少させ、圧力抵抗の長さを120μmに設定し、圧力抵抗を圧力感知膜の端から10μmの位置に配置し、40kPaの範囲を持つMEMSシリコン圧力抵抗マイクロ圧力センサの構造最適化を完了し、センサの感度を効果的に向上させた。試験結果は、この圧力センサの感度が0.444mV/kPaに達し、従来の同じ範囲の圧力センサの感度0.35mV/kPaと比較して26.8％向上したことを示した。これらの最適化結果は、基本的にMEMSマイクロ圧力センサの高い感度と高い直線性の要求を満たしている。
关键词
マイクロ電気機械システム;マイクロ圧力センサ;COMSOL Multiphysics;感度最適化
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