セラミック基板は半導体部品の重要な基盤材料であり、その欠陥検出は製品品質を保証する上で重要な意味を持ちます。改良されたYOLOV4ネットワークに基づくセラミック基板の欠陥自動検出方法が提案されました。セラミック基板の欠陥はサイズが小さく、色や形状が多様で、異なる種類の欠陥間でサイズの変化が大きいため欠陥検出が困難である問題に対して、改良されたYOLOV4ネットワークはComplete Intersection over Union (CIoU)の考え方を取り入れて初期の先行枠設計を最適化し、勾配調整メカニズムに基づく信頼度損失関数と十字交差注意ネットワークを導入して欠陥検出能力を向上させました。実験結果は、改良YOLOV4に基づくセラミック基板欠陥検出方法が、汚染、異物、多金属、陶磁器欠損、損傷の5種類の欠陥検出において平均精度98.3%を達成し、産業現場における基板欠陥検出精度の要件を満たすことを示しました。

セラミック基板;物体検出;YOLOV4;勾配調整メカニズム;十字交差注意ネットワーク