反応焼結炭化ケイ素（Reaction Bonded SiC、RB-SiC）は、密度が低く熱伝導率が高く、熱安定性に優れるなどの優れた特性から、宇宙用大型反射鏡の製造に適した理想的な材料と認められている。しかし、成形後の表面精密加工過程で加工損傷が生じやすいため、本研究では柔軟な刻划実験を実施し、サンドベルトの柔軟研削加工が本材料の加工特性に及ぼす影響を検討した。単一ダイヤモンド砥粒による剛性および柔軟な接触状態でのRB-SiC材料への刻划比較実験の結果、柔軟刻划時の平均サブサーフェス損傷率は0.677であり、剛性刻划時は0.823であった。これを基に、異なる法線圧力、砥粒角度、刻划速度の条件での直交刻划実験を行い、結果は法線圧力と砥粒角度が材料損傷により重要な影響を与えることを示した。同時に、法線圧力の増加、砥粒角度の減少および刻划速度の増加に伴い、材料損傷の程度が増加した。最後に、多数のダイヤモンド砥粒による刻划実験により、単一ダイヤモンド砥粒刻划と比較して材料表面に深刻な破壊や損傷がなく、サブサーフェス損傷層の深さが10μm未満であるとの結論を得た。本研究は、サンドベルトの柔軟研削加工による反応焼結炭化ケイ素材料の加工に対する基礎的な指導を提供するものである。

反応焼結炭化ケイ素;ダイヤモンド砥粒;損傷;刻划力