大口径微細ナノ構造平面光学素子の最適化

CAO Xinrui ,  

LIU Weiguo ,  

ZHOU Shun ,  

SUN Xueping ,  

ZHU Yechuan ,  

摘要

微細ナノ構造配列で構成されたメタレンズは、体積が小さく軽量です。複合構造により多機能設計が可能であり、口径は一般的にマイクロメートル級です。センチメートル級の口径を持つメタレンズの場合、含まれる微細ナノ構造ユニット数は数十億に達します。これらの微細ナノ構造を一つ一つモデリングして描画すると、レイアウトファイルが非常に大きくなり、描画時間が長くなり、ファイルを開けなくなることがあります。この問題を解決するため、レイアウト設計ソフトウェアL-Editに基づき、リング状レイアウトのメタレンズ設計手法を提案し、バイナリとライブラリ呼び出しを組み合わせた方法で各円環に構成ユニット配列を描画し、大口径メタレンズレイアウトファイルの効率的な圧縮を実現しました。研究結果は、設計したメタレンズが亜波長集光を実現したことを示しています。直径50 mmのメタレンズに対して、本論文で提案したレイアウト描画圧縮法を用いると、レイアウトファイルサイズは176 MBであり、個別モデリングで生成されたファイル(3.70 TB)よりはるかに小さくなり、大容量データの効率的な圧縮を実現し、大口径メタレンズ部品設計の製造可能性を確保しました。

关键词

メタレンズ;大口径;レイアウト設計;データ圧縮

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