摘要
赤外光学微細構造表面の効率的かつ高精度で低損傷な加工を実現するために、超精密適応型フライングナイフ切削法を提案し、実験的に検証した。フライングナイフ切削の運動学的特性に基づき、フライングナイフ切削塑性加工モデルを構築した。最大切りくず厚さが常に脆性-塑性転移の臨界を下回るという原則に従い、微細構造表面の局所的な形態特徴に基づいて、反復アルゴリズムを用いて動的に変化する送り速度を持つ工具軌跡を計画した。最後に、提案手法と従来のフライングナイフ切削法との比較実験を行い、提案した適応型フライングナイフ切削法の有効性を検証した。実験により単結晶シリコン材料上で脆性破壊のない微細溝加工に成功し、表面粗さは18nmに達した。従来の方法と比べて、超精密適応型フライングナイフ切削法は送り速度を落とすことなく脆性破壊を回避し、加工効率は従来法の2.5倍である。
关键词
赤外光学材料;超精密フライングナイフ切削;微細構造;適応速度調整;加工効率
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