融解石英素子の高効率かつ低欠陥加工を実現するために、磁気支援研磨技術に基づく素子材料の除去特性および表面品質形成機構を研究した。異なる研磨ギャップおよび異なる鉄粉体積比の磁気研磨液を用いて研削後の融解石英素子を磁気支援研磨し、素子材料除去率、研磨斑輪の輪郭、表面粗さおよび透過率を評価した。空間磁束密度のシミュレーションと研磨圧力解析を組み合わせて、加工パラメータが素子の加工効率と表面品質に与える影響を明らかにした。結果は、材料の深さ除去率が空間磁束密度の強化に伴いべき関数的に上昇し、研磨液中の鉄粉体積比の増加により著しく向上することを示した。低い空間磁場強度および低い鉄粉体積比の研磨液は、主に化学的除去を主体とした磁気支援弾性研磨を促進し、光沢のある表面を得ることに有利である。小さな研磨ギャップ（0.5 mm）および高い鉄粉体積比（14.18%）の研磨液は、最大材料深さ除去率0.4392 μm/minおよび体積除去率1.49×10⁻⁴ mm³/minを達成でき、大きな研磨ギャップ（1.5 mm）および低い鉄粉体積比（9.93%）の研磨液は、粗さRₐが8.1 nmまでの滑らかな表面を得ることができる。

磁気支援研磨;研磨ギャップ;鉄粉体積比;材料除去率;粗さ