放射状勾配屈折率（GRIN）レンズの厚さを正確に測定するために、偏心によって引き起こされる放射状GRINレンズ厚さ測定誤差について研究した。スペクトル共焦点厚さ測定システムの動作原理を紹介し、放射状GRINレンズの光線軌跡方程式を用いて、デカルト座標系において光学ラグランジュ関数、光線弧微分方程式などと組み合わせて、放射状GRINレンズの厚さ測定モデルを構築した。次に、放射状GRINレンズの偏心によって引き起こされるスペクトル曲線のピークシフトおよびこれに起因する厚さ測定誤差について理論的研究とシミュレーション解析を行い、精密な位置決めステージを用いてGRINレンズを駆動し偏心を模擬した実験プラットフォームを構築し、偏心の影響下での厚さ測定を完了した。実験結果は、放射状GRINレンズの偏心度が大きいほど測定誤差が大きくなり、軸方向の測定位置の影響は無視できることを示し、理論解析の正確性を検証した。実際の厚さが4.0126 mmのGRINレンズは、偏心補正後の厚さ測定誤差が4.6 μmであり、スペクトル共焦点法が放射状GRINレンズの厚さの精密測定を実現できることを確認した。

スペクトル共焦法;厚さ測定;放射状勾配屈折率レンズ;偏心;ピークシフト