摘要
集積回路内部の電気信号波形の非接触検出を実現するために、共光路干渉計に基づく検出光路を設計し、位相同期増幅技術のノイズ抑制能力の高さと感度の良さを活用して、反射光に含まれる微弱なデバイスの電気光信号を抽出する位相同期増幅に基づく信号処理方法を提案した。この方法は、デバイスの電気信号の周期的変化に伴う電気光信号の強度変化の特性を利用し、まず光電検出器からの電気信号を位相同期増幅処理で大部分のノイズを除去し、次に平均処理技術を用いて外部ノイズ干渉をさらに抑制し、デバイスの電気光信号の信号対雑音比を向上させることで、ノイズに埋もれた電気光信号を抽出し、デバイス内部の電気情報を再構築する。 この検出方法を用いて、μAオーダーの動作電流を持つチップ内部の回路ノードの電気光信号を成功裏に検出し、信号対雑音比は4.99 dBに達し、平均処理技術のみを用いた場合の信号対雑音比は-44.29 dBであった。本研究は、集積回路内部の電気信号の光学的検出に新しい考え方を提供し、将来的に集積回路の動的欠陥検出分野で応用が期待される。
关键词
集積回路;位相同期増幅;電気光プローブ;電気光信号
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