摘要
我が国の高出力レーザー装置の建設および工学的任務に対する高出力レーザー薄膜部品の需要に基づき、薄膜損傷機構の理解に基づいて、同済大学は「全工程定量化」による欠陥制御レーザー薄膜の製造方針を提案した。同済大学は構造および特性が制御可能な人工微小球を利用して定量的な人工欠陥を作製し、基板加工、超音波洗浄、電場のシミュレーションおよび制御、膜材およびプロセスの選択、膜後処理、レーザー予処理、伝送および保存などの要因が薄膜部品のレーザー損傷特性および損傷規則に与える影響を体系的に研究した。損傷形態および損傷規則から節瘤欠陥電場強化理論モデルの正当性を証明し、研究者の節瘤欠陥損傷機構への認識を深め、新たな薄膜損傷性能向上の方法を提案し、新素材を創出し、環境安定性、分光特性および損傷特性を兼ね備えた多機能高出力レーザー薄膜の製造を実現し、我が国の高出力レーザー装置の建設およびレーザー技術のさらなる向上を力強く支えた。
关键词
レーザー薄膜; レーザー損傷; 節瘤; 人工欠陥; 電場強化
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