摘要
高分光性能光学薄膜は、国家の重要な光学プロジェクトおよび光電子産業の基盤です。光学薄膜の光学性能を向上させ、精密な製造技術を開発するために、現在の研究は主に設計理念、監視技術および薄膜材料に焦点を当てています。現在、薄膜技術は大きな進歩を遂げており、高分光性能光学薄膜の堅牢な設計を実現し、これに基づく複数の精密製造技術が提案されています。本稿では、薄膜設計、精密製造技術および薄膜材料の観点から、現代の高分光性能光学薄膜研究をレビュー・議論し、高性能光学薄膜の潜在的な課題と今後の研究方向を展望します。
关键词
光学薄膜およびデバイス;堅牢な設計;光学監視;薄膜製造;計算による製造
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