摘要
極端紫外線-真空紫外線の高性能薄膜光学素子の開発は、天文学、材料科学、物理学などの分野において重要な意義を持ちます。本稿では、同済大学精密光学工学技術研究所における高性能極端紫外線-真空紫外線薄膜光学素子の最新の進展を主に紹介します。極端紫外線-真空紫外線波長域（10~200 nm）の薄膜反射鏡、薄膜モノクロメーター、および薄膜偏光子に関する研究成果を示します。様々な使用要求や環境に対応するため、薄膜内部の微細構造の総合的な解析およびその物理化学的メカニズムの研究が行われ、高性能極端紫外線-真空紫外線薄膜光学素子の特性評価、最適化、製造技術の体系が確立されており、均一性、反射効率、帯域幅、安定性、偏光度など薄膜素子の主要性能が効果的に向上しています。高性能な極端紫外線-真空紫外線薄膜光学素子の開発技術は、中国の大型地上科学装置および宇宙天文観測装置に強力な支援を提供するでしょう。
关键词
極端紫外線-真空紫外線;薄膜素子;均一性;狭帯域;安定性;高反射効率
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