摘要
極紫外線正入射光学システムは、生体構造の顕微鏡イメージング、プラズマ診断、太陽物理観測、および極紫外線リソグラフィなどの分野で広く使用されており、深い研究が重要です。本稿では、同済大学精密光学工学研究所における極紫外線正入射光学システムの最新の進展を紹介し、過加熱電子診断、微小/ナノイメージング、極紫外線照射損傷およびZ収縮プラズマ診断などのさまざまなシナリオに適用される複数の正入射光学システムを列挙します。これらのシステムは、それぞれの応用で優れた性能を発揮しており、ミリメートルオーダーの視野内でマイクロメートルレベルの空間分解能、数十マイクロメートルの視野内でサブマイクロメートルの超高空間分解能、大口径下での超高エネルギー密度極紫外線照射および多エネルギーポイントの多チャネル時空間診断を実現しています。研究所の極紫外線正入射光学システム研究の進展は、中国のプラズマ診断装置の自主制御および先端製造装置の技術蓄積に強力な支援を提供しています。
关键词
極紫外;多層膜;Schwarzschildシステム;プラズマ診断;イメージングシステム;集光システム
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