摘要
極紫外線およびX線は微観的物質の理解や巨視的空間の探査に高精度の観測手段を提供するが、この種の観測の実現には大量の高精度光学反射素子の支援が必要である。極紫外線およびX線は光学表面で散乱が起こりやすいため、光学反射鏡基板の精度要求および製作技術は長波長素子とは明らかに異なる。近年、同済大学精密光学工学技術研究所は極紫外線およびX線反射素子基板の超精密加工および検出プラットフォームを確立し、超滑らかな非球面のイオンビーム成形技術を開発し、ゼルニック多項式に基づくランダムなオフアクシス回転の絶対検出法を提案し、極紫外線およびX線光学用反射鏡基板の高精度全工程製造技術を形成し、国内外の短波光学大型科学装置に成功裏に応用した。本稿は本課題グループによる極紫外線およびX線用反射鏡製作分野における研究進展を概説する。
关键词
超精密加工;極紫外線;X線;反射鏡基板;非球面素子;絶対検出
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