精密なX線診断技術の開発は、慣性閉じ込め核融合（ICF）の物理プロセス研究において重要な意義を持つ。本稿では、同済大学精密光学工学技術研究所における高性能多層膜斜入射X線光学の最新進展について比較的包括的に紹介する。ICFの高時空間分解能、エネルギースペクトル分解能および高集光効率という診断要求に対し、多チャンネル斜入射X線イメージング技術、多層膜斜入射X線イメージング技術及びその応用効果の各方面から、現在の研究進展を体系的に紹介する。多チャンネル斜入射X線イメージングに関しては、高解像度多チャンネルKBイメージングシステムとその高精度オンライントリミング技術を主に紹介する。空間分解能5 μm以下、16チャンネルイメージングの実現を基礎に、「物体－診断対物レンズ－像」の高復元精度統合指示技術を採用し、多チャンネルKBシステムの装置適用効果を効果的に保証している。多層膜斜入射X線イメージングに関しては、主に多層膜分光デバイスのエネルギースペクトル制御および製造技術、並びにシステムの精密照準技術を紹介する。現在、複数の多層膜アレイデバイスに基づく多エネルギースペクトルX線診断装置がレーザー装置に広く適用されており、空間分解能は3～5 μm、診断エネルギーポイントは4つであり、技術指標は海外同種デバイスを大幅に上回り、国内のICF診断に強力な支援を提供している。

慣性閉じ込め核融合;プラズマ診断;多層膜;カークパトリック-ベーズ顕微鏡;高時空間分解能