摘要
X線多層膜は、シンクロトロン放射や自由電子レーザー、天文観測、プラズマ診断などの大型科学装置や実験室分析機器において重要な光学素子であり、高効率でX線を反射し、単色化や偏光化などの制御を実現します。本研究グループは約20年間にわたり、X線多層膜の設計・製造・評価方法について体系的かつ詳細な研究を行い、軟X線および硬X線の異なる波長帯で動作する高性能多層膜を一連開発し、反射率は国際的に先進的なレベルに達しています。磁気スパッタリング技術に基づき、大型のグレージング入射X線多層膜を成膜するプラットフォームを確立し、最大成膜サイズは1.2m、均一性は0.5％以下（RMS値）で優れています。製作した硬X線多層膜ミラーは国内外の大型科学装置に成功裏に応用されました。また、多層膜と反射格子を組み合わせることで、従来の単層膜格子と比較して硬X線回折効率を最大40倍高める超高効率硬X線多層膜格子素子を革新的に開発しました。本論文では、当研究グループのX線多層膜素子分野における研究進展について簡単に紹介します。
关键词
X線多層膜;反射率;大サイズ反射素子;多層光格子
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