宇宙天気の早期警戒のためには、太陽－地球間の空間物理過程の監視が必要である。極端紫外線（Extreme Ultraviolet、EUV）フィルターは、極端紫外線イメージャの重要な構成要素の一つであり、太陽放射スペクトル中の非動作波長帯の放射を除去するために使用される。17.1 nm波長におけるEUVフィルターの透過率を最適化するために、本論文ではビール・ランバートの法則に基づき、理論計算とソフトウェアシミュレーションにより17.1 nmのEUVフィルターの材料および厚さを決定した。まず、真空熱蒸着法により溶融石英基板上に剥離層と金属薄膜を堆積し、ニッケル網を支援体としたEUVフィルターの作製に成功した。試験の結果、フィルターの透過率は17.1 nmで約43.81%であり、表面は滑らかで平坦、かつ顕著なピンホールはなかった。次に、酸化層が透過率に及ぼす影響を示すために、楕円偏光スペクトル計を使用してフィルター膜サンプルを測定し、異なる時間放置による酸化膜厚を得て、粗さの測定によりフィルター透過率のシミュレーションを最適化した。IMDを用いてサンプルの酸化層の厚さと粗さをフィッティングし、実測値に最も近い曲線を得た。実験結果はフィルター透過率のシミュレーション値と測定値の絶対誤差が約1%であり良好であることを示した。本論文は17.1 nm EUVフィルターの作製方法と最適化の方策を提供し、宇宙探査分野において重要な応用価値を有する。

金属薄膜;フィルター;格子支え;極端紫外線;酸化層