摘要
大容量転送（Mass Transfer、MT）技術およびモーションポジショニングプラットフォーム（Motion Positioning Platform、MPP）の研究現状と今後の展望について詳細に述べた。チップの転送方式により、MT技術は精密ピックアップ・リリース技術、自己組み立て技術、ローラー転写技術、レーザー剥離技術に分類され、チップ転送効率と歩留まりを考慮して国内外のMT技術の発展過程を論じた。これを基に、プラットフォームの支持方式から機械構成、エアベアリング構成、磁気浮上構成およびハイブリッド構成のMPPの構造と動作原理を詳細に紹介し、運動行程や運動位置精度などの要因を考慮してMPP性能を比較した。MT技術とMPP技術の今後の発展方向を展望し、微細孔液気二相媒体を用いたレーザー剥離MTおよび周方向の小角度補正と軸方向の微小高さ調整機能を備えた「機械＋磁気浮上」ハイブリッド構成MPPがMini/Micro LEDチップ転送技術の研究重点であることを指摘した。
关键词
Mini/Micro LED;大容量転送;モーションポジショニングプラットフォーム;表示技術;転送歩留まり
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