大口径主鏡の六点硬点支持機構パラメータ最適化

YU Zhiyuan ,  

WU Xiaoxia ,  

WANG Fuguo ,  

摘要

4m口径の炭化ケイ素主鏡の六点硬点支持位置決めシステムが十分に高い固有振動数を持つように、六点硬点支持機構の構成パラメータを最適化設計した。まず、主鏡六点硬点支持システムの動力学方程式および固有振動数方程式を導出し、機構の構成パラメータ、硬点の軸方向剛性、主鏡の質量と慣性および主鏡システムの固有振動数との関数関係を確立した。次に、有限要素解析により4m炭化ケイ素主鏡の支持に用いる硬点の軸方向剛性を取得した。さらに、固有振動数方程式に基づき、4m炭化ケイ素主鏡システムの一次固有振動数を最大化することを目的として、遺伝的アルゴリズムを用いて六点硬点支持機構の構成パラメータを最適化した。最後に、最適構成下の4m炭化ケイ素主鏡システムに対してモード解析を実施した。硬点の軸方向剛性は33.044 N/μmであり、最適化された4m炭化ケイ素主鏡システムの一次固有振動数は30.83 Hzに達し、初期値に比べて大幅に向上した。最適化手法は主鏡六点硬点支持システムの一次固有振動数を効果的に向上させることができる。

关键词

六点硬点支持機構;4m炭化ケイ素主鏡;主鏡位置決め;構成パラメータ最適化;固有振動数

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