微小磁気部品組立装置の精密組立作業を実現し、加工誤差および取り付け誤差によるシステム精度の低下を補うため、自動較正および誤差補償の方法を提案した。装置の配置形式に従い、異なるモジュールの座標系を構築し、組立精度に影響を与えるすべての誤差パラメータを抽出した。ガイドレールの位置関係に基づき、モジュール間の運動変換モデルを構築し、さらに組立作業に基づく誤差補償モデルを導出した。装置内のマシンビジョンシステムを測定ツールとして使用し、専用の較正板を設計した。各モジュールの動作前後の特徴点座標の変化を観察することで誤差パラメータを測定・識別し、粒子群アルゴリズムを用いてパラメータの全局最適化を行った。開発した自動較正ソフトウェアに基づき、組立エリアで較正および検証実験を実施した。実験結果は、補償後のシステムのオープンループ制御精度が6μm以内であり、装置の組立精度要求を満たすことを示した。本手法は微小部品組立装置に対して自動化され、高精度かつ高効率な較正ソリューションを提供する。

微小組立装置;自動較正;粒子群最適化;誤差補償