摘要
高感度超伝導遷移端センサー（Transition Edge Sensor、TES）は、宇宙マイクロ波背景（Cosmic Microwave Background、CMB）放射のBモード偏光検出において重要な応用可能性を持っています。本論文では、220 GHz帯域の8×8ピクセルアンテナ結合型チタン超伝導TES検出器を設計・製作し、エッチング前のチタン超伝導TES検出器の低温熱伝導率およびノイズ特性を実験的に評価しました。実験結果から、チタン超伝導TES検出器の低温における電音相互作用に支配される熱伝導率は約485.4 pW/Kであり、またチタン超伝導TES検出器のノイズ等価電力は5×10⁻¹⁷ W/Hz⁰·⁵を上回る性能を示しました。理論的には、エッチング後にチタン超伝導TES検出器の熱伝導率はさらに低減し、エッチング後の熱伝導率は約38 pW/Kと理論計算されており、その熱ゆらぎによるノイズ等価電力の理論値は約9.2×10⁻¹⁸ W/Hz⁰·⁵です。したがって、チタン超伝導TES検出器のエッチング後のノイズ等価電力特性はさらに向上します。
关键词
高感度; 超伝導遷移端センサー; 熱伝導; ノイズ等価電力
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