産業用CT検査システムの技術性能向上は、放射線非破壊検査分野のシステム開発者およびユーザーにとって共通の目標です。この目標に基づき、カップルされたシンチレーションスクリーンと科学グレードの面状CMOSカメラを用いたCT画像検出法を提案しました。本稿では、マイクロ焦点産業用CTシステムのハードウェア開発とソフトウェア開発に関わる重要な工学的技術的詳細について紹介します。自社開発の耐放射線X線デジタルカメラと市販のフラットパネル検出器の実測技術指標比較結果、CT統合ソフトウェア（CTER MAX）と市販ソフトウェアのCT再構成アルゴリズム計算効率比較結果およびCTシステムの空間分解能検出結果を示します。結果は、耐放射線X線デジタルカメラが超高画素サンプリング、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高分解能、耐放射線、低コストなどの利点を持ち、特に空間分解能ではフラットパネル検出器より大きな向上余地があり、使用がより柔軟で多くの応用シーンに適応できることを示しています；CTER MAXソフトは機能が充実し、操作が容易で、市販ソフトより約4.5倍の計算速度向上を持ちます；CTシステムの総合空間分解能は最大5 μmで、X線源の焦点サイズに相当します。システム全体は安定かつ信頼性が高く、航空機エンジンのブレードやコア検査などの各種産業の非破壊検査に応用可能です。

産業用CT;非破壊検査;X線デジタルカメラ;コーンビーム;画像