摘要
球面レンズの曲率半径測定精度を向上させるために、五次元姿勢モニタリング調整に基づく差動共焦点曲率半径高精度測定法を提案する。被測定試料を回転させ、検出器上で被測定物の共焦点軌跡を監視し、被測定物の球心点と測定光軸間の偏心誤差を測定する。姿勢調整システムと組み合わせて偏心誤差を自動補償し、測定中に被測定物の球心が測定光軸と一致するようにする。これにより、被測定試料の球心の軸ずれによる測定余弦誤差を除去し、毎回の装着時の試料姿勢誤差による測定精度への影響を排除する。理論計算および初期実験により、この方法が曲率半径の相対再現測定精度（RMS）で3.2×10^{-6}に達することが示された。本方法は曲率半径の再現測定精度を著しく向上させ、曲率半径の精密測定に有効な手段を提供する。同時に、本手法はレンズの中心偏心、焦点距離、厚さ、レンズ群間隔など複数のパラメータの高精度測定にも有効な方法を提供する。
关键词
曲率半径;レーザー差動共焦;五次元姿勢モニタリング;五次元姿勢調整;余弦誤差
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