全視野外差動的干渉計は、測定精度が高く干渉に強いという利点があり、長焦点距離の面形の動的干渉測定および大口径光学素子の測定に適しています。しかし、干渉計システム内部の光学素子の性能が理想的でないことや、素子の組み立てに誤差があることで、干渉光路に周波数混合を引き起こし、干渉計の測定精度に影響を与えます。混合が全視野外差動的干渉計の測定精度に及ぼす影響を分析するために、混合の発生原因から出発し、混合によって引き起こされる測定誤差の理論モデルを確立し、混合度が測定精度に与える影響を分析しました。分析結果は、測定誤差が混合度と非線形正の相関関係にあり、混合が干渉縞と同じ周波数の周期的誤差を測定面形結果に重ねることを示しました。全視野外差動的干渉測定実験システムを構築し、異なる混合度が面形測定精度に与える影響を検証しました。混合度が0.029の場合、面形測定誤差は0.053λであり、混合度が0.120の場合、面形測定誤差は0.110λで、シミュレーション解析結果と一致しました。本研究は、高精度な全視野外差動的干渉計の開発に実用的な意義があります。

干渉測定;全視野外差;混合;測定誤差