新型多チャネル二結晶単色器システムが結晶片の平行度誤差により性能劣化を起こす問題に対し、反復学習モデル予測制御（Iterative Learning Model Predictive Control、ILMPC）戦略を提案する。本戦略は主軸-従軸結晶片の平行度誤差を従軸モーターの繰り返し参考動作軌道に変換し、ILCで周期的な機械的取り付け誤差を除去し、MPCで単一回転周期内の従軸モーターのランダム誤差を抑制する。最終的に単軸モーター運動実験プラットフォームで軌道追従を検証した。実験結果は、結晶片の有効作動領域内で従軸モーターの位置追従誤差が1.44″に達し、PID制御、MPC、DOB+MPCおよびILC+PID複合制御戦略と比較して、それぞれ99.64%、98.52%、98.26%、73.33%の低減を示した。研究結果は、提案されたILMPC戦略が結晶片の平行度誤差補償と平行整合精度の向上に有効であることを検証し、新型多チャネル二結晶単色器性能の改善に実用的価値があることを示している。

運動制御;反復学習制御;モデル予測制御;多チャネル二結晶単色器