ビーム指向安定化システムは、ビームの位置および角度の制御に基づいており、高精度な能動的ビーム指向制御を実現し、マイクロナノ露光や超解像イメージングなどの分野で重要な役割を果たしています。ビームの長時間指向安定化を達成するために、分離式制御の小型化ビーム指向安定化システムが提案され、従来の方式での二重鏡反射による結合誤差を除去し、ビーム指向精度の制御性能を大幅に向上させました。比較試験結果は、この方法に基づくビーム指向安定化システムがビーム位置の安定精度（RMS値）0.3 μm、角度の安定精度（RMS値）1 μradに達することを示しています。一定の大きさの能動的摂動を加えた試験結果では、このシステムが大きな光源の揺れ下でも同等の安定精度を維持できることが示されました。同じ試験条件下の2つの市販ビーム指向安定化システムと比較して、位置揺れおよび角度揺れの性能が50%以上向上しています。

ビーム安定化;高精度補正;高精度角度検出;誤差分離技術