測定遅れを伴う圧電ナノプラットフォームの軸間周期結合補償問題、特に高速走査グリッド応用に対し、複雑な逆モデルの解法を必要としないロバスト周期干渉観測制御戦略を提案する。プラットフォームシステムの動的挙動を記述するため、圧電プラットフォームの電気機械多擾乱モデルを構築した。これに基づき、周期干渉観測制御構造を構築する。導出した性能最適化関数およびロバスト安定性条件により、最適制御器パラメータの解法問題を遅延系の混合感度最適化問題に変換し、無限次元のH^∞制御法で解いた。最後に、圧電ナノプラットフォーム上で包括的な実験研究を行った。結果は、構築した動的モデルがプラットフォームの実験応答を効果的に近似できることを示した。干渉観測器なしの方法および従来の周期干渉観測制御方法と比較して、提案するロバスト最適化法は基底周波数における耐干渉性能をそれぞれ99％以上および50％向上させた。提案するロバスト周期干渉制御法は、優れた耐干渉性および不確かさ補償性能を有する。

圧電マイクロ駆動プラットフォーム;結合補償;動的モデリング;周期干渉観測器;遅延;H^∞最適化