レーザー溶接技術を利用した波形薄膜の溶接工法を設計し、直交実験に基づく重要な溶接工程パラメータの最適化方法を提案し、重要な溶接工程の直交実験表を設計し、溶接部の残留応力を評価指標とした直交実験を完了した。直交実験で得られた最適な溶接工程パラメータの組み合わせに基づき、圧力センサーを溶接し、溶接の密閉性、引張強度およびセンサーの静的性能指標の試験検証を完了した。結果は、最適な圧力センサー波形薄膜レーザー溶接工法パラメータの組み合わせは、レーザーパワー350W、パルス周波数150Hz、パルス幅1.5ms、ターンテーブル回転速度4200（°）/分であることを示している。圧力センサーの溶接部引張強度は499.60MPaに達し、良好な密閉性を持つ。波形薄膜溶接後、センサーのゼロ点出力は約17％向上し、感度、フルスケール出力、非直線性、ヒステリシスおよび再現性などの指標には大きな変化はないが、非直線性、ヒステリシスおよび再現性は同じメーカーの同種センサーと比較して約2倍改善されている。直交実験で決定されたレーザー溶接工法は、圧力センサーの高品質な封止用途を保証できる。

圧力センサー;波形薄膜;レーザー溶接;残留応力;直交実験;静的性能