XY作業台の対応する機能点の空間位置精度を向上させるために、6自由度（6-DOF）誤差のオンライン測定方法を提案し、対応する誤差補償モデルを構築した。レーザー干渉原理を用いて作業台のX軸、Y軸方向の位置決め誤差およびZ軸方向の直線度誤差を測定し、レーザー自己准直原理を用いて作業台のX軸、Y軸、Z軸回転角誤差を測定することで、6-DOF誤差のオンライン測定を実現した。6-DOF誤差が作業台の対応する機能点の空間位置誤差に及ぼす影響を分析し、アッベ原理およびブライアン原理に基づく誤差補償モデルを構築した。提案した測定方法に基づき、高精度でコンパクトなインプレースオンライン6-DOF測定システムを開発し、微細・ナノ三次元測定機の作業台に適用した。SIOSレーザー干渉計を基準として、測定システムおよび誤差補償モデルの有効性を実験的に検証し、システムの不確かさを評価した。結果は、6-DOF誤差の測定と補償後、基準機能点のX、Y、Z方向の最大位置誤差がそれぞれ1.7μm、3.4μm、3μmから65nm、81nm、109nmに減少し、その拡大不確かさはそれぞれ90nm、98nm、158nm（k=2）であることを示した。この方法およびシステムは、XY作業台の精度向上に利用できる。

XY作業台;多自由度;補償モデル;アッベ原理