安全フィルターアレイの網孔における効率的で高品質かつ高適応性の加工は、これまで重大な技術的課題に直面してきました。これを基に、レーザー・電解組合せ加工技術を用いて安全フィルターアレイの網孔構造を製作することを提案しました。レーザー・電解組合せ加工技術の実験加工システムを紹介し、プロセスパラメータが微細孔の形状品質と加工精度に与える影響を調査し、安全フィルターアレイの網孔の製作を行いました。実験結果は次の通りです：レーザー加工経路が微細孔の出口形状に顕著な影響を与え、同心円軌跡（外径270 μm、内径230 μm、線間隔2.5 μm）を採用することで微細孔出口の円形度が大幅に改善されます；レーザー出力が大きく、切断速度が小さいほど、微細孔の直径およびその熱影響領域がさらに大きくなります；NaNO₃-エチレングリコール溶液を電解研磨液として使用すると、加工表面に拡散層が形成され電解研磨が行われ、レーザー加工で発生した飛散物やバリなどの欠陥を除去できます；最適な加工パラメータに基づき、直径0.31 mmのアレイ網孔構造253個を加工し、入口および出口直径の分散はそれぞれ2.02と1.71で、寸法の高い一貫性を示しています。レーザー・電解組合せ加工技術は、薄肉部品上でのアレイ網孔構造の効率的かつ高品質な製作に強い加工能力と発展潜力を有しています。

組合せ加工; レーザー加工; 電解加工; 安全フィルター; アレイ網孔