パルス圧縮グレーティングは高エネルギーレーザーを実現するための核心的な光学部品であり、その製造過程で生じる表面汚染物や微細構造欠陥が高出力レーザーシステムの技術的なボトルネックとなっている。グレーティングのレーザー誘起損傷閾値を向上させるために、磁性複合流体を用いたパルス圧縮グレーティング（PCG）の後処理研磨研究が提案された。研磨前後のグレーティング試料の微細構造、表面形態、表面粗さ、回折効率およびレーザー誘起損傷閾値等のパラメータを測定し、研磨前後のグレーティング表面品質および性能を評価した。研究の結果、磁性複合流体研磨は実際のグレーティング構造を破壊することなく、加工過程で生じるバリや微細構造欠陥を抑制できることが分かった。3分間の研磨後、グレーティングの上部表面粗さは21.36 nmから3.73 nmに低下し、レーザー誘起損傷閾値は2.8 J/cm²から3.8 J/cm²に向上し、レーザー損傷耐性が35.7%向上し、回折効率には影響しなかった。実験結果は、磁性複合流体研磨がグレーティング部品の表面品質を向上させ、光学性能を高める有効な方法であることを示している。

パルス圧縮グレーティング;多層誘電体膜グレーティング;磁性複合流体;レーザー誘起損傷閾値;表面形態